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⭐ 設備亮點:現況極佳 (近 99% 新),含原廠電纜線、教導盒 (Teaching Pendant)
專用於 YAC Dry Etcher (LCD G5.5) 製程之 JEL FTVHR4800 機器人。原廠出機品項,保存條件極佳,可立即交貨。
| 設備品牌 | JEL | 設備名稱 | JEL Robot Controller (機器人控制器) |
| 產品料號 (P/N) | C4453S-00564 | 工廠代碼 | C4453S-00564 |
| 適用機型 | JEL FTVHR4800 Robot | 對應製程設備 | YAC Dry Etcher (LCD G5.5) |
| 設備尺寸 | 297 × 327 × 180 mm (W×L×H) | 設備重量 | 約 30 Kgs |
本產品為高精度晶圓/基板傳輸機器人之核心控制單元,具備以下優勢:
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